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高纯气体泄漏的应对和处置措施包括：首先，立即停止使用该气体，关闭气源，防止气体继续泄漏；其次，迅速疏散现场人员，避免吸入有毒气体；再次，使用合适的吸收剂或吸附剂对泄漏气体进行吸收或吸附，防止气体扩散；，对泄漏点进行修复，并对现场进行的清理和消毒。在处理高纯气体泄漏时，应穿戴适当的防护装备，如防护服、防护眼镜、防护口罩等，以保护自身安全。同时，应尽快联系的气体处理公司或相关部门进行处理，避免因处理不当导致的二次污染和安全事故。
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